半導體混合陶瓷軸承

半導體混合陶瓷軸承

    ▶▶陶瓷混合軸承具有軸承鋼的套圈和軸承級氮化矽的滾動體Si3N4。除了具有優良的電絕緣體以外,陶瓷混合軸承還具有較高的速度特性,在大多數應用中其使用壽命要長於全鋼軸承。 卓越的電絕緣特性是氮化矽的基本特性之一。這可保護套圈不致受到電流損傷及所謂的洗衣板現象,從而延長軸承的使用壽命。

    ▶▶陶瓷球特別是氧化矽具有低密度、高硬度、低摩擦係數、抗磁電絕緣、耐磨、自潤滑及鋼性好等特點,特別適合做高速、高精度及長壽命混合陶瓷球軸承的滾動體(內外圈為金屬)。一般內外圈採用鋼(GCr15)或不鏽鋼(AISI440C,316 304),陶瓷球可選用ZrO2,Si3N4或SiC材料。

    ▶▶應用行業
    半導體製造裝置、半導體封裝設備、半導體檢測設備、LCD面板製造裝置、PDP製造裝置、真空環境設備

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